디스플레이 제조용 케미컬 여과

GEN 10 이상 유리 기판의 생산업체는 고유량을 처리할 수 있으면서 필요한 잔류 제거 정도를 충족하는 케미컬 여과 제품이 필요합니다.

 

TFT 배열 기판을 만드는 경우 칼라 필터 공정뿐 아니라 습식 식각, 박리, 현상 및 세척 어플리케이션에서는 300LMP 이상의 고유량을 처리할 수 있고 최소한의 공간만 차지해 제조 비용을 절감하는 제품이 필요합니다.

Pall Microelectronics는 GEN 10 이상의 요건뿐 아니라 보다 작은 기판 크기까지 충족하는 다양한 필터 엘리먼트 구성을 제공합니다.   

Pall은 특정 기판 크기에 맞게 입자 제거 요구를 충족하는 다양한 멤브레인 자재(폴리술폰, 폴리에테르 술폰, 폴리프로필렌, ECTFE, PTFE, 논-디웨팅 PTFE)를 생산합니다. 

필터 하우징은 이러한 공정에 사용되는 다양한 케미컬의 유량 요건에 사용할 수 있습니다.

  디스플레이 개요디스플레이 - 어플리케이션
디스플레이 - 화학 물질 여과
디스플레이 - 사진석판술 여과
디스플레이 - 액정 여과
디스플레이 - 가스 여과 및 정제
디스플레이 - 초순수 여과 

디스플레이 제조용 케미컬 여과 제품

필터 카트리지

Emflon® 필터(케미컬 여과)
Emflon® 필터(케미컬 여과)이 필터는 PTFE 및 폴리프로필렌과 호환되는 케미컬에 사용하는 것이 좋습니다. 

 
Emflon® PF 필터(케미컬 여과)
Emflon® PF 필터(케미컬 여과)이 필터는 불소 중합체로 만들어진 카트리지로서 플리티드 필터 미디어를 활용하여 공정 유체를 탁월하게 여과합니다.


Fluorodyne® 필터
Fluorodyne® 필터이 필터는 오늘날 고순도 DI water 어플리케이션의 엄격한 요건을 충족하도록 개발되었습니다.


Fluorodyne® VA 및 Fluorodyne® TF 필터
Fluorodyne® VA 및 Fluorodyne® TF 필터이 필터는 재순환 니켈 도금 배쓰에서 배쓰를 급속하게 세척할 수 있도록 특화 설계된 것으로서, DI water 및 알칼리 비누 재순환 세척 배쓰에 사용하는 데 적합합니다.

Fluoryte 하이 플로우 필터
Fluoryte™ 하이 플로우 필터이 필터는 일반 필터 미디어의 플리티드 형식 및 지원 방식(면적이 더 크거나 변동 가능한 플리티드 사이즈 조합 사용 등)에 비해 유량이 개선되었고 수명이 더 깁니다.

HDC® II - J 시리즈
HDC® II - J 시리즈이 필터 카트리지는 순수 폴리프로필렌의 고면적 플리티드 미디어로 구성되어 있습니다.



P Emflon® 필터(케미컬 여과)
P Emflon® 필터(케미컬 여과)이 필터는 특히 PTFE 및 HDPE(고밀도 폴리에틸렌)와 호환되는 포토레지스트 및 케미컬 벌크 여과에 추천합니다.

 
Poly-Fine® XLD 시리즈 필터 카트리지
Poly-Fine® XLD 시리즈 필터 카트리지이 필터 카트리지는 Depth 기술 및 플리티드 기술을 혁신적으로 결합한 결과물로서 유량이 크고 저차압입니다.



 
프리웨트 UltiKleen 및 Kleen-Change® 필터
Prewetting(프리웨팅) UltiKleen™ 및 Kleen-Change® 필터불소 고분자 부품으로 만들어진 필터 카트리지는 오늘날 반도체 제작 공정에서 고순도 케미컬을 여과하는 데 사용됩니다.


Profile® II 필터
Profile® II 필터 요소이 필터는 화학, 석유화학, 포토케미컬, 의약, 생물학, 전자공학, 자기 테이프, 전기도금, 식품 및 음료, 화장품, 수의학, 의료 및 발효 등 다양한 산업 분야에 적용됩니다. 전처리필터 및 최종필터 어느 쪽으로든 사용할 수 있습니다.

Profile® UP 필터
이 필터의 엘리먼트는 수명이 길어야 하는 어플리케이션은 물론 점성 유체 및 분산물에도 적합합니다.

소유량 Emflon® 필터
Small Flow Emflon® 필터(케미컬 여과)이 필터는 PTFE 및 폴리프로필렌과 호환되는 케미컬에 사용하는 것이 좋습니다.


UltiKleen CDS 필터
UltiKleen™ - CDS 필터이 필터는 Pall의 대표적인 반도체 산업용 불소 고분자 카트리지입니다. 주로 벌크 케미컬 운반 시스템에 사용하도록 설계되었습니다.


UltiKleen™-S 필터 및 UltiKleen-G2
UltiKleen™-S 필터 및 UltiKleen-G2이 필터는 기존 제품보다 개선된 불소 고분자 카트리지로서 특히 중요한 케미컬 여과에 적절합니다.

 
Ultipleat® 하이 플로우 필터
Ultipleat® 하이 플로우 필터이 필터는 냉각수,  pre-RO 및 레진 트랩 여과 등의 어플리케이션에 알맞습니다. 



에천트 어플리케이션용 Ultipleat® 하이 플로우 필터
에천트 어플리케이션용 Ultipleat® 하이 플로우 필터Ultipleat 고유량 필터는 습식 식각 및 세척 등의 TFT LCD 유체 어플리케이션에 맞게 설계되었습니다.


Ultipleat® HP 필터
Ultipleat® HP 필터이 필터는 재순환 니켈 도금 배쓰에 사용하여 배쓰를 급속하게 세척할 수 있도록 특화 설계된 것입니다. DI water 및 알칼리 비누 재순환 세척 배쓰에 사용하는 데 적합합니다.

Ultipleat® PC 필터
Ultipleat® PC 필터이 필터는 특히 고유량이며 입자 여과 등급이 0.2um이어야 하는 부품 세정 어플리케이션에 적합합니다.





Ultipleat® PK 필터
Ultipleat® PK 필터이 필터 카트리지는 7G 및 8G LCD(액정 디스플레이) 공정에 필요한 고유량 수용성 어플리케이션에 맞게 설계되었습니다.


Ultipleat® PKS 필터
Ultipleat® PKS 필터이 카트리지는 5G부터 최신 세대 LCD(액정 디스플레이) 공정에 필요한 고유량 수용성 어플리케이션에 맞게 설계되었습니다.




Ultipor® GF-HV 필터
Ultipor® GF-HV 필터이 필터는 점성이 높고 고형물이 많은 슬러리 여과 어플리케이션에 적합합니다.



VaraClean CET 시리즈 필터 카트리지
VaraClean CET 시리즈 필터 카트리지이 표면적이 큰 비대칭 멤브레인 필터 카트리지는 구리 전기도금 어플리케이션에 맞게 설계되었습니다.


Water-Fine 시리즈 필터 카트리지
Water-Fine 시리즈 필터 카트리지이 DI 및 고순도 용수 필터는 유량 및 수명이 우수합니다.



WFPK 시리즈 필터 카트리지
WFPK 시리즈 필터 카트리지고유량 LCD 세척 공정용입니다. 5세대 이상 LCD 세척 장비의 고유량 어플리케이션에 적합합니다.




하우징

Fluoro-Plus II PFA 필터 하우징
Fluoro-Plus™ II PFA 필터 하우징이 단일 카트리지 필터 하우징은 전자공학의 중요 케미컬 관련 어플리케이션에 맞게 설계되었습니다.


Megaplast 인-라인 PFA 필터 하우징
Megaplast™ 인-라인 PFA 필터 하우징이 필터 하우징은 초고순도 케미컬의 청정도 및 호환성과 관련된 엄격한 요건을 충족하도록 설계되었습니다.


Megaplast 폴리프로필렌 및 PVDF 필터 하우징(초순수 여과)
Megaplast™ 폴리프로필렌 및 PVDF 필터 하우징(초순수 여과)이 필터 하우징은 금속 부품을 활용하지 않고도 우수한 기계적 특성을 갖추도록 설계되었습니다.


 

정제기(Purifiers)

IonKleen™ SL 퓨리파이어
IonKleen™ SL 퓨리파이어이 정제기는 유기 솔벤트 및 유기 솔벤트와 수지 혼합물에서 금속 이온을 제거하도록 특화 설계된 것입니다.