마이크로일렉트로닉스
  • Easy Installation
그 어느 때보다도 공정 모니터링이 중요해 졌습니다. 각각의 새로운 기술이 발전하면서, 그에 수반하여 오염물질이 더 작아지고 부피가 줄어듬에 따라, 치명적인 오염을 감지하고 여과하는 것이 더욱 어려워지고 있습니다.

Pall은 Gaskleen® Pico1000 Analyzer를 이용하여, 이동성을 위한 효율적 비용의 플랫폼을 구축함으로써, 감지한계를 낮출 수 있고 건조시간을 빠르게 할 수 있습니다. 계측장치는 초고순도(UHT) 질소를 이용하여 반도체 제조사, 가스 장비 제조사, 공정가스 공급자, OEM 검사도구 업체가 제품을 생산하고 그 품질을 조절하는 것을 돕습니다.

어플리케이션

제조공장(Fabs)

Pico1000 Analyzer는 가스 라인 불시 점검과 문제 해결을 수행하는 반도체 제조 설비의 어플리케이션에 사용되고 있습니다. 이는 또한, 정제기의 수명이 끝나는 것을 감지하거나, 정제기가 어느 곳에 필요한지를 결정하는데 사용될 수 있습니다. 공정 가스라인과 장비 유지보수가 이루어지도록, 이러한 시스템이 회복될 때, QA/QC 사양을 충족하는지가 중요합니다.

완성자(Integrators)

가스 캐비닛/가스 라인 운송 시스템의 제조자들은 운송 전에, 해당 제품을 인증하기 위한 고객의 요구사양을 갖출 것입니다. 건조시간을 짧게 하여, 제품의 QA/QC가 가능한 최소 시간에 이루어질 수 있는 이동식 수분 감지 장치가 있습니다.

UHP 가스 제조

제품 인증을 위한 공정 가스 사양은 시장 수요를 충족시키기 위해 지속적으로 낮아지고 있습니다. 정확도와 정밀도가 우선시되는 실험실, 혹은 건조 시간이 중요한 필드에서, Pico1000은 그 요구사항을 충족하고 있습니다. Pall은 또한, 이러한 감지한계영역 계측장치의 소유비용(COO)을 저렴하게 제공합니다.

OEM 도구 제조자

수분 정제기는 검사 도구 산업의 일반적 장소에 채택이 되고 있습니다. 시설 가스 운송 방법에 따라, 습기는 렌즈를 오염시키고 유체재료를 부식시키는 1~500ppbv의 범위를 형성합니다. Pico1000 고체상태 MEMS 센서 패키지의 내구성은 현재, 설치하는 동안, 고객지원 현장엔지니어가 고객의 가스사양 품질을 검증할 수 있도록 해줍니다.
연락처
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기업 지속가능성
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