마이크로일렉트로닉스

포토리쏘그래피 호환성 가이드

다음 호환성 가이드에 제시된 호환성 데이터는 일반적인 참고용으로만 제공되는 것입니다.

특정 제품의 내성에는 매우 많은 요인이 영향을 미칠 수 있기 때문에 자체 작동 조건에 따라 사전 검사하고 각 케미컬의 물질 안전 보건 자료에 제시된 관련 안전 조치를 준수해야 합니다.

소재에 대한 일반 호환성 정보 가이드를 참조하는 것 외에도 다양한 유체 범주에 대한 개별 하우징 등급 역시 참조해야 합니다.

특정 어플리케이션에 대한 호환성 문제는 Pall Microelectronics로 문의하십시오.

여과 제품 호환성 가이드


R - Recommended at ambient temperature
LR - 제한적으로 추천
NR - 추천하지 않음

자세한 권고 사항을 원하시면 Pall Microelectronics에 문의하십시오.

용매 키
n-BA = 초산부틸
ECA = 에틸 셀로솔브 아세테이트
EL = 에틸 락테이트
MAK = 2-헵타논
PGMEA = 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트
MEK = 메틸 에틸 케톤
DMF = N,N-디메틸 포름아미드
NMP = N-메틸피롤리돈
EEP = 에틸 3-에톡시프로피오네이트
MMP = 메틸 3-메톡시프로피오네이트
EP = 에틸 피루브산염
IPA = 이소프로필 알코올

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Acetone R R R R R R R R R R R
Aquatar LR LR R R R R R R LR R R
Aquatar 2 NR NR R R R R NR R LR R R
n-BA R R R R R R R R R R R
현상액 3% 미만 TMAH  R R R R R R R R LR R R
시클로헥사논  R R R R R R R R R R R
DMF  R R R R R R R R NR R LR
EA  R R R R R R R R R R R
ECA  R R R R R R R R R R
EEP R R R R R R R R R R
EGMEA  R R R R R R R R R R
EL  R R R R R R R R R R
EP  R R R R R R R R R
IPA  R R R R R R R R R R
MAK  R R R R R R R R R
MEK  R R R R R R R R R
MMP  R R R R R R R R R
NMP  R R R R R R R R NR R LR
PGMEA  R R R R R R R R R R R
크실렌  NR LR NR LR R LR NR LR NR R R
 

* 폴리프로필렌 하드웨어 설계를 갖춘 필터에 권장
1 Kalrez는 E.I. du Pont de Nemours and Company의 상표입니다.