화학적 호환성 가이드

다음 호환성 가이드에 제시된 여과 제품 호환성 데이터는 일반적인 참고용으로만 제공되는 것입니다.

특정 제품의 화학적 내성에는 매우 많은 요인이 영향을 미칠 수 있기 때문에 자체 작동 조건에 따라 사전 검사하고 각 케미컬의 물질 안전 보건 자료에 제시된 관련 안전 조치를 준수해야 합니다.

소재에 대한 일반 호환성 정보 가이드를 참조하는 것 외에도 다양한 유체 범주에 대한 개별 하우징 등급 역시 참조해야 합니다.

예를 들어 PP Megaplast™ 하우징은 용수에 대해서만 평가를 받은 제품이므로 케미컬과 사용해서는 안 됩니다. 특정 어플리케이션에 대한 호환성 문제는 Pall Microelectronics로 문의하십시오.


 

여과 제품 호환성 가이드


E - 우수함
G - 상온에서 양호
LR - 제한적으로 추천
NR - 추천하지 않음

자세한 권고 사항을 원하시면 Pall Microelectronics에 문의하십시오.
 

반도체 개요
반도체 - 어플리케이션
반도체 - 화학 물질
반도체 - CMP
반도체 - 가스 여과 및 정제
반도체 - 포토리쏘그래피
반도체 - 초순수
반도체 - 폐수 처리 반도체 어플리케이션 문서Pall 대리점에 주문 관련 문의
Pall Microelectronics에 기술 관련 문의

필터 카트리지 하우징 오링
Ultipleat Depth
/
Profile UP
Ultipleat P-Nylon Emflon P Emflon Fluorodyne Ulti-Etch Fluoryte
/
UltiKleen
Ultipleat Mega-Etch
/
Ultipleat SP DR
PE-Kleen 316L SS Polypropylene PFA PVDF 플루오로엘라스토머 부나-N 플루오로엘라스토머
/
FEP
실리콘 수지 EPR Kalrez
     
초산(10%) G NR E E E E E G G E E E E G G E G G E
빙초산 LR NR E LR E E E G G E LR E E NR G E G G E
염산(농축액) G NR E E E E E G G NR LR E E G NR E NR NR E
불산(49%) G NR E E E E E LR G NR LR E E G NR E NR NR E
불산(희석액) G NR E E E E E G G NR G E E G NR E NR LR E
과산화수소(30%) LR NR G G G G E NR NR G LR E G G NR E LR LR E
질산(농축액) NR NR NR NR NR NR E NR NR G LR E G G NR E LR LR E
인산(농축액) LR NR G G G G E LR LR LR LR E G G NR E NR G E
황산(농축액) NR NR NR LR LR NR E NR NR NR NR E G G NR E NR NR E
염기      
불화암모늄(40%) LR G G E E E E G G NR LR E E G G E NR G E
수산화암모늄(농축액) G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR NR E G G E
수산화칼륨(농축액) G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR LR E NR G E
수산화암모늄(농축액) G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR LR E NR G E
테트라메틸 암모늄
수산화물(TMAH)(5%)
G LR E G NR1 NR1 E G G LR G E NR1 LR NR E LR LR E
알코올      
부탄올 E E E E E E E LR G LR G E NR1 LR NR E LR LR E
Ethanol E E E E E E E LR G E E E E G LR E G G E
에틸렌 글리콜 E E E E E E E LR G E G E E G G E G G E
글리세롤 E E E E E E E LR G E E E E G G E G G E
이소부탄올 E E E E E E E LR G E E E E G G E G G E
이소프로판올(IPA) E E E E E E E LR G E E E E G G E G G E
Methanol E E E E E E E LR G E E E E LR G E G G E
프로필렌 글리콜 G G G G G G E LR G E G E E G G E G G E
1 농축 용액에는 적합하지 않음
2 Kalrez는 E. I. du Pont de Nemours and Company의 상표입니다.


여과 제품 호환성 가이드(계속)


E - 우수함
G - 상온에서 양호
LR - 제한적으로 추천
NR - 추천하지 않음

자세한 권고 사항을 원하시면 Pall Microelectronics에 문의하십시오.

필터 카트리지 하우징 오링
Ultipleat Depth
/
Profile UP
Ultipleat P-Nylon Emflon P Emflon Fluorodyne Ulti-Etch Fluoryte
/
UltiKleen
Ultipleat Mega-Etch
/
Ultipleat SP DR
PE-Kleen 316L SS Polypropylene PFA PVDF 플루오로엘라스토머 부나-N 플루오로엘라스토머
/
FEP
실리콘 수지 EPR Kalrez
에스테르      
초산부틸 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
셀루솔브 아세테이트 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
에틸 아세테이트 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
에틸 락테이트 LR E G E NR NR E LR G G LR E NR NR NR E NR LR E
할로겐 탄화수소      
사염화탄소 NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
Freon TF NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR NR
염화메틸렌 NR NR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E H NR E NR NR G
사염화에틸렌
(퍼클로로에틸렌)
NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
트리클로로에탄
NR LR G3 LR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
트리클로로에틸렌
NR NR G3 NR LR LR E NR NR G NR E E G NR E NR NR G
탄화수소      
시클로헥산 LR LR LR LR LR LR E LR LR G NR E E G G E NR NR E
헥산 LR LR LR LR LR LR E LR LR G NR E E G G E NR NR E
펜탄 NR LR LR LR LR LR E LR LR G NR E E G G E NR NR E
석유 에테르 LR LR LR LR LR LR E NR NR G NR E G G G E NR NR E
Toluene NR LR NR LR LR LR E NR NR G NR E G G NR E NR NR G
크실렌 NR LR NR LR LR LR E NR NR G NR E G G NR E NR NR G
케톤      
Acetone G G G G NR NR E NR LR G G E NR NR NR E NR G E
시클로헥사논 G G G G NR NR E NR LR G G E NR NR NR E NR G E
메틸 에틸 케톤(MEK) LR G G G NR NR E NR LR G LR E NR NR NR E NR G E
메틸 이소부틸 케톤(MIBK) LR G G G NR NR E NR LR G LR E NR NR NR E NR LR E
3 사전 추출된 요소의 경우 양호 등급이며 그 외의 경우 LR 등급


여과 제품 호환성 가이드(계속)


E - 우수함
G - 상온에서 양호
LR - 제한적으로 추천
NR - 추천하지 않음

자세한 권고 사항을 원하시면 Pall Microelectronics에 문의하십시오.

필터 카트리지 하우징 오링
Ultipleat Depth
/
Profile UP
Ultipleat P-Nylon Emflon P Emflon Fluorodyne Ulti-Etch Fluoryte
/
UltiKleen
Ultipleat Mega-Etch
/
Ultipleat SP DR
PE-Kleen 316L SS Polypropylene PFA PVDF 플루오로엘라스토머 부나-N 플루오로엘라스토머
/
FEP
실리콘 수지 EPR Kalrez
기타      
디메틸술폭시드
(DMSO)
LR G G G NR NR E G G G LR E NR NR NR E NR NR E
헥사메틸-
디실라잔
(HMDS)
LR LR G LR LR LR E G G G NR E LR NR NR E NR NR E
EGMEA LR G G G G G E LR G G NR E G NR NR E NR NR E
실리콘 오일 G G G G G G E G G G G E E G G E NR G E
PEGMEA LR G G E G G E LR G G NR E G NR NR E NR NR E
탄화수소      
왕수,
HNO3 : HCl
NR NR NR NR NR NR E NR NR NR NR E LR NR NR E NR NR E
BOE,
NH4F : HF
G NR G G E E E G G NR G E E G NR E NR NR E
NOE, 에틸렌 글리콜/
NH4F : H2O : 계면활성제
G G E E E E E G G NR G E E G G E NR G E
혼합산 식각액, (HNO3<20%)
HNO3 : HF : CH3CO2H
LR NR LR NR LR LR E NR NR LR NR E E LR NR E NR NR E
크롬 인산 H2O : H3PO4 : CRO3 (32:1:0.1) LR NR G G G G E NR NR LR NR E E LR NR E NR NR E
N-메틸 피롤리돈, (NMP) LR NR G LR NR NR E NR NR G LR E NR NR NR E NR LR E
P-Etch, (3:5:92),
HNO3 : HF : DI H2O
LR NR G NR G G E NR NR G LR E G G NR E NR NR E
피라나, H2SO4 : H2O2 NR NR NR NR NR NR E NR NR NR NR E LR NR NR E NR NR E
RCA 식각액, (75:15:5:5) H3PO4 : CH3CO2: H: HNO3: DI H2O NR NR G NR G G E NR NR LR LR E G G NR E NR NR E
SC1 (RCA 청정) NH4OH : H2O2 : DI H2O NR NR LR LR NR NR E LR LR LR NR E G LR NR E NR NR E
SC2, HCl : H2O2 : DI H2O NR NR NR LR NR NR E LR LR LR NR E G LR NR E NR NR E