박막 모듈(Module) 제조

케미컬 및 용수 여과

Ultipleat® PK 여과 제품은 넓은 기판에서 케미컬 및 DI water를 처리하는 용도로 설계되었습니다. 박막 필름 처리 과정에서는 필름의 완전성을 위해 미세 여과가 특히 중요합니다. 품질이 우수하고 일관된 모듈을 만들려면 청정한 기판이 필요합니다.

박막 필름 태양광 제조용 가스 솔루션

Pall은 태양광 장치 제조업체에 필요한 최고순도 가스를 얻을 수 있는 여과 및 정제 제품 라인을 공급합니다.

박막 필름 증착용 가스 정제

구리 인듐 갈륨 디셀레니드(CIGS) 태양광 전지의 박막 필름 활성층은 스퍼터 증착을 사용하여 형성하는 경우가 많습니다. 

이 진공 기반 공정 도중 비활성 아르곤 가스에서 전자 및 이온 플라즈마가 생성됩니다. 이 이온이 결정 소재 표면에서 원자를 제거하며 해당 원자가 침전되면서 기판에 극히 얇은 코팅이 형성됩니다.

매우 정확한 화학량으로 다중 성분 필름에 증착할 수 있습니다.

Pall 아르곤 정제 제품은 수분, 산소, 일산화탄소, 이산화탄소, 탄화수소를 제거하므로 다음과 같은 이점이 있습니다.

  • 필름 품질 향상
  • 탈기체가 감소하여 펌프 중지 시간 단축
 

광전변환공학 개요
광전변환공학 - 어플리케이션
광전변환공학 - 폴리실리콘 정제 및 처리
광전변환공학 - 결정 성장
광전변환공학 - 실리콘 및 공정 용수 재생
광전변환공학 - 결정질 실리콘 전지 처리
광전변환공학 - 박층 필름 모듈 제조
광전변환공학 - 제품
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비정형 실리콘 박막 필름 및 반사 방지 코팅

반사 방지 코팅이나 비정형 실리콘 필름 형성에 사용되는 수소와 실란 가스의 분자 오염은 비균질 코팅, 입자 생성으로 인한 기타 결함 유형 등 각종 공정 문제로 이어질 수 있습니다.

Gaskleen® II 퓨리파이어는 수소와 실란 가스의 수분과 산소를 1ppb 미만으로 낮춥니다.  이 정제기는 실란에서 미량의 실록산 및 도판트 금속(As, P, Al, B 등)을 제거하는 기능도 있습니다.

비용 효과적인 가스 여과

Gaskleen Light 시리즈 필터 어셈블리는 태양광 시장용 첨단 가스 여과 기능을 제공하는 동시에 비용을 최소화하도록 설계된 제품입니다.