디스플레이 제조용 초순수 여과

디스플레이 장치 생산 과정 전반에서 UPW(초순수)가 광범위하게 사용된다는 점에서 이를 확보하고 유지하는 일은 극히 중요합니다.  

디스플레이 산업의 기술은 지난 몇 년간 매우 급속히 발전하여 청정도 요건이 재정의되었으며 이는 특히 콜로이드 실리카, 입자, TOC(전유기 탄소), 박테리아, 발열원(박테리아 단편) 및 금속 이온을 대폭 제거해야 하는 필요성과 관련이 있습니다.  

필터를 전략적으로 배치한 우수 설계 UPW 시스템을 사용하면 이러한 목표를 달성할 수 있는데 그 이유는 각 핵심 영역에서 선택된 필터 타입이 최종 품질에서 상당한 차이를 만들어 내기 때문입니다.  

고순도 DI(탈이온) water 시스템의 요구를 충족하려면 필터는 다음 사항을 만족해야 합니다.

  • 유출액 스트림에 유기물, 미립자 또는 금속 이온 오염 물질을 추가하지 않음 
  • 갇힌 오염 물질을 빼내거나 필터 소재가 벗겨지게 하지 않음 
  • 여과율 검증을 위해 완전성을 테스트할 수 있음 
  • 로트마다 성능이 동일함 
  • 압력 저하가 작아 수명이 길고 경제성이 극대화됨
 

디스플레이 개요디스플레이 - 어플리케이션
디스플레이 - 화학 물질 여과
디스플레이 - 사진석판술 여과
디스플레이 - 액정 여과
디스플레이 - 가스 여과 및 정제
디스플레이 - 초순수 여과

Pall은 전처리 역삼투, 수지 트랩, 루프 및 POU(Point-of-Use) 위치에 사용할 수 있는 필터를 제공합니다.  IonKleen™ 정제 시리즈 카트리지를 사용하여 추적 금속을 낮은 ppt 범위까지 제거할 수 있습니다.


디스플레이 제조시 초순수 여과용 제품

필터 카트리지

Asymmetric P-Nylon 필터(초순수 여과)
Asymmetric P-Nylon 필터(초순수 여과)이 필터는 공극 끝이 좁아지는 설계이며 열린 업스트림 구조와 미세한 다운스트림 구역을 갖추고 있어 20nm의 여과 등급을 얻을 수 있고 차압도 매우 낮습니다.

   
Nexis® A 시리즈 필터 카트리지
Nexis® A 시리즈 필터 카트리지이 필터 카트리지는 높은 차압에서도 오염 물질의 방출을 차단합니다.




    
Nexis® T 시리즈 필터 카트리지
Nexis® T 시리즈 필터 카트리지이 필터 카트리지에는 전처리 여과 및 최종 여과가 모두 가능한 연속적으로 기울어진 공극 구조 미디어가 있습니다.



   
Poly-Fine® XLD 시리즈 필터 카트리지
Poly-Fine® XLD 시리즈 필터 카트리지이 필터 카트리지는 Depth 기술 및 플리티드 기술을 혁신적으로 결합한 것으로서 유량이 크고 압력이 적게 떨어집니다.




Posidyne® UP 필터
Posidyne® UP 필터이 Posidyne UP 필터는 오늘날 첨단 반도체 제조업체의 초순수 어플리케이션에 적합합니다.



Profile® II 필터
Profile® II 필터Profile II 필터는 마이크론 등급의 오염 물질 99.98%를 제거하는 것으로 입증되었습니다. 이 필터는 pre- RO, 레진 트랩 및 냉각수 어플리케이션에 적합합니다.
    

Profile® UP 필터
Profile® UP 필터이 Profile UP 필터는 Ultipleat® 필터 형상을 사용하는 플리티드 Depth 미디어로 구성되어 있습니다. 고유량 대비 차압 정도가 우수한 레진 트랩, pre-RO 또는 냉각수 필터가 준비되어 있습니다.


Ultipleat® 하이 플로우 필터
Ultipleat® 하이 플로우 필터이 필터는 냉각수,  pre-RO 및 레진 트랩 여과 등의 어플리케이션에 알맞습니다.



에천트 어플리케이션용 Ultipleat® 하이 플로우 필터
에천트 어플리케이션용 Ultipleat® 하이 플로우 필터Ultipleat 고유량 필터는 습식 식각 및 세척 등의 TFT LCD 유체 어플리케이션에 맞게 설계되었습니다.


Ultipleat® PK 필터
Ultipleat® PK 필터이 필터 카트리지는 7G과 8G LCD(Liquid Crystal display) 공정에 필요한 고유량의 수용성 어플리케이션용으로 설계되었습니다.
    

Ultipleat® PKS 필터
Ultipleat® PKS 필터이 필터 카트리지는 5G에서부터 LCD(액정 디스플레이) 공정에 이르기까지 사용되는 고유량 수용성 어플리케이션용으로 설계되었습니다.




Varafine VFSG 시리즈 필터 카트리지
Varafine™ VFSG 시리즈 필터 카트리지이 필터 카트리지의 고도로 비대칭인 독점 멤브레인은 우수한 유량과 긴 수명을 보장합니다.


 

Water-Fine 시리즈 필터 카트리지
Water-Fine 시리즈 필터 카트리지이 필터 카트리지는 유량이 우수하고 서비스 수명이 긴 DI water 및 고순수 필터입니다.
 

 

하우징

Fluoro-Plus II PFA 필터 하우징
Fluoro-Plus™ II PFA 필터 하우징이 PFA 단일 카트리지 필터 하우징은 전자산업의 중요 케미컬 어플리케이션용으로 사용됩니다.



Megaplast 인-라인 PFA 필터 하우징
Megaplast™ 인-라인 PFA 필터 하우징이 하우징은 초순수 케미컬의 엄격한 청정도 및 호환성 요건을 충족하도록 설계되었습니다.


Megaplast 폴리프로필렌 및 PVDF 필터 하우징(초순수 여과)
Megaplast™ 폴리프로필렌 및 PVDF 필터 하우징(초순수 여과)이 필터 하우징은 금속성 부품을 활용하지 않고도 우수한 기계적 특성을 갖추도록 설계되어 있습니다.